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氣體熱式質(zhì)量流量計公司-氣體熱式質(zhì)量流量計-曉韜科技公司

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氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系

流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種：

體積流量的公式為Q=VS，Q代表氣體的體積流量（m/s），V代表氣體的平均流速（m/s），S代表氣路管道的橫截面積（㎡）。

質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS，M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s），ρ代表氣體的密度（kg/m），Q代表氣體的體積流量（m/s）。

重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM，G代表氣體的重量流量（kgf/s），γ代表氣體的介質(zhì)重度（N/㎡），M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s）。


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氣體質(zhì)量流量控制器應用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著(zhù)重要的作用。典型的應用場(chǎng)合包括微電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。


通訊方式的熱式氣體質(zhì)量流量控制器

在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測定流量。熱式流量計傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。


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